兵工学报 ›› 2014, Vol. 35 ›› Issue (4): 501-508.doi: 10.3969/j.issn.1000-1093.2014.04.011
张东旭, 杨平, 杨峰, 王詹帅, 谢银辉, 郭隐彪
ZHANG Dong-xu, YANG Ping, YANG Feng, WANG Zhan-shuai, XIE Yin-hui, GUO Yin-biao
摘要: 针对大口径光学元件精密检测平台的工作特点及影响其空间误差的各项几何误差因素,运用多体系统理论,用低序体阵列描述多体系统拓扑结构,建立一种空间误差数学模型。综合应用激光干涉仪、球杆仪和激光位移传感器等仪器设备,提出大口径光学元件精密检测平台各项几何误差和空间误差的测量方法,并对模型中所涉及的各项几何误差进行了系统分析和全面测量,对空间误差进行补偿。误差补偿实验证明所提模型正确有效,将空间误差从补偿前-70.01~22.14 μm降低到补偿后-4.22~5.8 μm,大大提高了精密检测平台的测量精度。
中图分类号: