超精密机床工作台运行误差的测量与补偿

兵工学报 ›› 1999, Vol. 20 ›› Issue (1): 94-96.

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超精密机床工作台运行误差的测量与补偿

1:朱喜林;2:高鹏;3:袁哲俊、王晓慧

1:吉林工业大学，吉林长春，130025;2:北京航空航天大学;3:哈尔滨工业大学

收稿日期:1997-10-01 修回日期:1998-09-01 上线日期:2014-12-25
通讯作者: 朱喜林

Measurement and Compensation of the Movement Error of Working Table in Ultraprecision Machine Tools

1：Zhu Xilin；2：Gao Peng ；3：Yuan Zhejun, Wang Xiaohui

1：Jilin University of Technology, Changchun, 130025；2：Beijmg University of Aeronautics & Astronautics ；3：Harbin Institute of Technology

Received:1997-10-01 Revised:1998-09-01 Online:2014-12-25
Contact: Zhu Xilin

摘要/Abstract

摘要： 首先介绍了位置敏感检测器件PSD( Position Sensitive Detector)的工作原理和标定方法，再用PSD对超精密机床工作台运行误差进行在线测量，最后给出了误差实时补偿的方法。

关键词: 超精密机床 , 工作台 , 位置敏感检测器件 , 测量 , 补偿

Abstract: Introduces the work principle and method of calibration of position sensi?tive detectors (PSD) . The movement error of the working table is then measured on line. The method of real-time error compensation of the ultraprecision machine tool is fi?nally dealt with.

Key words: ultraprecision machin tool , working table , PSD , measurement , com-pensation

1:朱喜林;2:高鹏;3:袁哲俊、王晓慧. 超精密机床工作台运行误差的测量与补偿[J]. 兵工学报, 1999, 20(1): 94-96.

1：Zhu Xilin；2：Gao Peng ；3：Yuan Zhejun, Wang Xiaohui. Measurement and Compensation of the Movement Error of Working Table in Ultraprecision Machine Tools[J]. Acta Armamentarii, 1999, 20(1): 94-96.

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Measurement and Compensation of the Movement Error of Working Table in Ultraprecision Machine Tools

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