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d31模式四悬臂梁压电MEMS加速度计
石树正， 耿文平， 刘勇， 毕开西， 李芬， 丑修建
Piezoelectric MEMS Accelerometer With d31 Mode Cantilever Structure
SHI Shuzheng, GENG Wenping, LIU Yong, BI Kaixi, LI Fen, CHOU Xiujian
兵工学报 . 2022, (8): 1998 -2006 .  DOI: 10.12382/bgxb.2021.0464

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