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基于容栅传感器的二维微小位移测量方法研究
王睿， 李新娥， 马铁华， 杜红棉， 陆阳洋
Two-dimensional Small Displacement Measurement Method Based on Capacitive Grating Sensor
WANG Rui， LI Xin'e， MA Tiehua， DU Hongmian， LU Yangyang
兵工学报 . 2020, (7): 1441 -1448 .  DOI: 10.3969/j.issn.1000-1093.2020.07.023

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