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一种电容式高量程微机械加速度计的设计分析
陶永康， 刘云峰， 董景新
Design and Analysis of a High-g Capacitive Micro-machined Accelerometer
TAO Yong-kang， LIU Yun-feng， DONG Jing-xin
兵工学报 . 2014, (11): 1860 -1866 .  DOI: 10.3969/j.issn.1000-1093.2014.11.018

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