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CMOS兼容高Q值微机电系统悬浮片上螺旋电感
卢冲赢， 徐立新， 李建华， 付博， 欧修龙
CMOS-compatible High-Q Micro-electro-mechanical System Suspended on-chip Spiral Inductor
LU Chong-ying， XU Li-xin， LI Jian-hua， FU Bo， OU Xiu-long
兵工学报 . 2014, (5): 634 -639 .  DOI: 10.3969/j.issn.1000-1093.2014.05.009

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